项目名称： 复杂芯片制造过程实时调度与优化控制理论和算法研究及应用

项目编号： No.60834004

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2009

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 刘民

作者单位： 清华大学

项目金额： 200万元

中文摘要： 本项目从提高我国大中型半导体芯片制造企业复杂制造过程实时调度与运行控制水平这一重大需求出发，基于产学研结合模式，采用智能方法与数学方法相结合，特征分析、模型研究与算法研究相结合的技术手段，研究实现复杂芯片制造过程实时调度与优化控制所必须解决的若干科学问题，并力争取得突破。本项目将提出创新性强的复杂芯片制造过程动态特性分析及建模方法，实时计划制定、重调度与运行控制方法，设备层实时调度与运行控制算法，并进行相关方法的性能分析，最终建立能正确应对芯片制造过程中各种不确定性、设备可重组性以及设备故障等意外情况的实时调度与运行控制方法；研发复杂芯片制造过程实时调度与运行控制仿真软件，并在典型芯片制造企业进行研究成果验证和应用示范，取得显著的应用成效，为实时调度与运行控制技术在我国复杂芯片制造企业进行应用推广提供理论和技术基础。

中文关键词： 芯片制造过程；实时调度；运行控制；数据驱动；

英文摘要：

英文关键词： chip manufacturing process；real-time scheduling；operation control；data-driven；