项目名称： MEMS中的纳米三体磨料磨损

项目编号： No.51375364

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 方亮

作者单位： 西安交通大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 针对限制未来MEMS器件发展的困难，提炼和解决含滑动/旋转部件的MEMS器件磨损失效的关键科学问题：纳米三体磨料磨损。建立纳米三体磨料磨损的实验研究方法和计算机模拟技术，研究纳米三体磨料磨损的特征和机理，探索降低纳米三体磨料磨损的技术手段，为解决MEMS中三体磨料磨损所致失效的问题提供先期的理论基础。主要研究：(1)纳米磨料的运动方式及影响因素；(2)单晶/多晶硅纳米三体磨料磨损的磨损规律、摩擦法则；(3)纳米三体磨料磨损所致单晶/多晶硅的相变及其对磨料运动方式的依赖；(4)硅相变对纳米三体磨料磨损过程、磨损规律、表面损伤及材料去除方式的影响；（5）磨料几何尺寸及性能、加载条件、表面状态对纳米磨料磨损的影响规律。在此基础上探索降低纳米三体磨料磨损的方法；并对比申请人在宏观三体磨料磨损的前期工作，揭示三体磨料磨损的尺度依赖性，完善磨料磨损理论，促进含滑动/部件的MEMS器件的实用化、市场化。

中文关键词： 三体磨料磨损；单晶硅；单晶铜；微机电系统；

英文摘要： The key scientific problem of nanoscale three-body abrasive wear is proposed in MEMS devices including sliding/rotating parts, considering the obstacle to future MEMS devices. The experimental method and simulation technique will be built; the wear featur

英文关键词： three-body abrasion；monocrystalline silicon；monocrystalline copper；MEMS；