项目名称： 100Gbit/s 多波长并行高速波导探测器集成芯片研究

项目编号： No.61176053

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 韩勤

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 80万元

中文摘要： 计算机，特别是超级计算机性能的提高受到金属线电互连的极大制约，芯片间以及片上光互连是解决这一问题的最佳选择，发展与CMOS兼容的Si基高速集成发射芯片和探测接受芯片是实现光互连的关键，也是目前国际上研究的热点。波导型探测器将光传输吸收与载流子的输运有效分离，在满足高响应度的同时还可以有效的减小器件的电学尺寸，本项目应用新的波导结构提高探测器带宽和响应度，通过多波长复用实现100Gbit/s探测接受芯片。主要研究内容包括：设计和发展一种新的消逝场耦合吸收增强波导结构，实现波导探测器中光传输吸收与载流子输运有效分离；研究四波长无源列阵波导光栅与波导探测器阵列的高效耦合集成方法及工艺兼容性；研究InP与Si实现键合的有效途径和方法。预期研究结果：发展新的器件结构及集成方法，解决系列关键集成工艺难题，实现4×Gbit/s Si基波导探测器单片集成接收芯片。

中文关键词： 探测器阵列；阵列波导光栅；光子集成芯片；高速；多波长复用

英文摘要：

英文关键词： photodetector array；array waveguide grating；photonic integrated chip；high speed；multi wavelength multiplexing