项目名称： 基于矢量光衍射理论的低偏振光学薄膜的研究

项目编号： No.61405183

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李旸晖

作者单位： 中国计量学院

项目金额： 26万元

中文摘要： 国家中长期科学和技术发展的需求中，各类偏振敏感的大数值孔径光学系统逐渐成为研究的重点和热点。大数值孔径偏振光学系统中，不合理的光学薄膜设计将明显扰动入射光场的偏振特性，引发额外的偏振像差。同时，此类光学系统较大的曲率，对薄膜制备的均匀性也带来了较大挑战。本项目基于矢量光衍射理论，构建大数值孔径光学系统中光学薄膜诱导偏振像差的模型，将薄膜诱导的光场偏振态改变与光学系统的残余偏振相结合，对薄膜诱导的偏振分离和位相延迟进行优化设计，实现光学系统和光学薄膜偏振像差的整合设计和相互补偿。在实验方面，摸索大曲率基板上，原子层沉积的优化工艺参数，建立基板曲率与原子层沉积参数关系的数据库。利用原子层沉积,在较为简单的沉积条件下,实现大曲率或大面积基板表面，高均匀性、低损耗的低偏振像差光学薄膜的制备。搭建测试系统,对镀膜前后系统聚焦光斑轴向和径向特征尺寸的进行测量,完成对光学薄膜偏振特性的评价。

中文关键词： 偏振；光学薄膜；编码技术；原子层沉积；

英文摘要： According to National Outline for Medium and Long Term Science and Technology Development, the large –numerical- aperture (LNA) optical systems with polarization-sensitive property have gradually attracted intensive attention. In LNA polarized systems, th

英文关键词： polarization；optical coating；encoding；atomic layer deposition；