项目名称： 距离敏感的电调控化学刻蚀纳米加工新方法的研究

项目编号： No.91523102

项目类型： 重大研究计划

立项/批准年度： 2015

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 时康

作者单位： 厦门大学

项目金额： 65万元

中文摘要： 针对我们前期发展的距离敏感的化学刻蚀纳米加工新方法中尚存问题，本项目拟创新发展可进一步增强化学刻蚀反应高点优先去除能力、技术普适性的方法。利用电渗、电泳作用，高效实现工具电极与工件表面间微纳间隙内、外的物料传输和平衡；采用物化性质独特的深共熔溶剂为工作基液，拓宽工艺条件和加工对象；建立并完善平坦化工艺试验平台。拟通过对间隙内各物种的物理化学行为和电场的影响、深共熔溶剂化学刻蚀反应的本质特征、与工件材质适配的刻蚀体系的设计、工具电极和工作电解池的设计、电调控系统（电化学、电渗和电泳）的设计与集成等理论问题与关键技术的系统研究，揭示加工条件对加工效率、面型精度和表面质量的影响规律，阐明高精度高质量表面形成机理、影响平坦化加工效率和表面质量的关键条件及调控方法，为大尺寸工件高精度无应力平坦化加工提供具有自主知识产权的先进理论与技术。研究内容涉及化学、机械学等多个领域，属多学科交叉的前沿性研究。

中文关键词： 距离敏感刻蚀；纳米加工；超平滑平面；氮化镓晶元；微流控

英文摘要： To save the problems presented in the new nano-machining method of chemical etching with distance sensitivity, which we developed previously, several approaches that can enhance the high point removal and the technologic universality are proposed from the

英文关键词： distance-sensitive etching；nano-machining；ultrasmooth surface；GaN wafer；microfluidics